#  FA Serie

  ![FA Serie](https://www.iwaki.ch/images/Photos/produits/pompes-volumetriques/Serie-FA.webp) ## Kontaminationsfreie Konstruktion

Alle medienberührten Teile sind aus Fluorokunststoff gefertigt, mit hervorragender Beständigkeit gegen Hitze und aggressive Chemikalien. Scharfe korrosive Flüssigkeiten werden sicher gefördert bei verringerter Partikelemission.

### Antriebs-Sensor-System

Das Antriebs-Sensor-System öffnet/schliesst das Magnet mittels Endlagensensor. Zuverlässiger Betrieb sowie stabiles Verhalten selbst bei geringer Hubanzahl sind gegeben.

Für das Single-Wafer-Processing steht Ihnen die FA-2E, einer "Seitenversion" für kleine Fördermengen, mit einem Sprühsystem ausgestattet zur Verfügung. Mit der FA-40VEW, einer vertikalen Ausführung für große Fördermengen, können 200/300 mm Wafer gereinigt werden.

Exzellente Beständigkeit gegen hohe Drücke bieten die dicke Balgen in H-Form (FA-40VEW) und garantieren eine lange Lebensdauer bei kontinuierlichem Betrieb.

Falls ein spezieller Controller angeschlossen wird, ist die Überwachung und Kontrolle der Fördermenge sehr einfach.

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- Spezifikationen| Max. Literleistung | 40 l/min. |
    |---|---|
    | Gehäusematerial | PTFE, PFA |
    | Temperatur | 5 - 100° C |
    | Max. Druck | 0.4 MPa |
    | Max. Geschwindigkeit | 150 Schuss/min. |
    | Verwendung | Halbleiter |