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FA Serie

Kontaminationsfreie Konstruktion

Alle medienberührten Teile sind aus Fluorokunststoff gefertigt, mit hervorragender Beständigkeit gegen Hitze und aggressive Chemikalien. Scharfe korrosive Flüssigkeiten werden sicher gefördert bei verringerter Partikelemission.

Antriebs-Sensor-System

Das Antriebs-Sensor-System öffnet/schliesst das Magnet mittels Endlagensensor. Zuverlässiger Betrieb sowie stabiles Verhalten selbst bei geringer Hubanzahl sind gegeben.

Für das Single-Wafer-Processing steht Ihnen die FA-2E, einer "Seitenversion" für kleine Fördermengen, mit einem Sprühsystem ausgestattet zur Verfügung. Mit der FA-40VEW, einer vertikalen Ausführung für große Fördermengen, können 200/300 mm Wafer gereinigt werden.

Exzellente Beständigkeit gegen hohe Drücke bieten die dicke Balgen in H-Form (FA-40VEW) und garantieren eine lange Lebensdauer bei kontinuierlichem Betrieb.

Falls ein spezieller Controller angeschlossen wird, ist die Überwachung und Kontrolle der Fördermenge sehr einfach.

Spezifikationen

Max. Literleistung 40 l/min.
Gehäusematerial PTFE, PFA
Temperatur 5 - 100° C
Max. Druck 0.4 MPa
Max. Geschwindigkeit 150 Schuss/min.
Verwendung Halbleiter

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