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Série FA

Pompes volumétriques à soufflet pour l'industrie des semi-conducteurs

Deux modèles de pompes à soufflet sont disponibles pour les produits circulant en moyenne température, modèles standards :

  • Le type FA-2 (double soufflet horizontal) et le type FA-40 (pompe à soufflet double vertical).
  • Le type FA-2 est défini pour une utilisation dans la pulvérisation des wafers simples.
  • Le type FA-40 est utilisé pour le nettoyage des wafers de grande taille.

Spécifications techniques

Débit max. 40 l/min.
Matière du corps PTFE, PFA
Température 5 - 100° C
Pression max. 0.4 MPa
Vitesse max. 150 cps/min.
Utilisation Semi conducteurs

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