Pompes volumétriques à soufflets pour le semi-conducteur

Rapidité de cadence de coups

Une augmentation de la cadence des coups (240 coups/min) permet la réduction de la taille, du poids et du coût de fabrication de la pompe à soufflet ainsi qu’une diminution de l’amplitude du mouvement des soufflets (NB. Les cadences de coups sont différentes selon le modèle de pompe).

Toutes les parties en contact avec le liquide sont composées de résine fluorée et ne comporte donc aucune partie métallique.

Les parties métalliques extérieures sont revêtues de résine fluorée. L’utilisation d’arbre étanche a pour effet de réduire, de façon remarquable, la production de particules.

Large gamme de températures de liquides / hauteur de refoulement importante

Etant donné que la pompe à soufflet peut transférer des fluides compris entre 5 à 180°C avec des pressions de refoulement de 5 bars, la pompe est utilisable non seulement pour les procédés de lavage et les procédés CMP mais aussi pour le transfert de produits chimiques.

Facilité de maintenance

Le détecteur de proximité peut être remplacé sans démonter la pompe à soufflet et le resserrage régulier de la boulonnerie n’est pas nécessaire, ce qui réduit le coût de maintenance.

Système de pilotage par détecteur

La pompe à soufflet est pilotée par un distributeur d’air qui reçoit les informations des détecteurs installés aux deux extrémités de la pompe.
En outre, lorsque le distributeur d’air est connecté au contrôleur, le débit est plus facilement géré.

La série de pompes à soufflet FS est la dernière gamme de pompes pneumatiques à soufflet prévue pour la circulation de l’eau de lavage des wafer ainsi que la recirculation et le transfert de CMP vers le bac d’alimentation.

Spécifications techniques